本標準規(guī)定了瓶裝電子工業(yè)用氣體---三氟化氮的技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則及包裝、標志、運輸、儲存和安全。
本標準適用于電子工業(yè)用三氟化氮。它主要用作電子工業(yè)中等離子體工藝等離子體刻蝕劑和化學氣相沉積的清洗劑。