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微機電系統（MEMS）技術 硅基MEMS納尺度結構沖擊試驗方法

標 準 號： GB/T 42896-2023
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 上海臨港新片區跨境數據科技有限公司、廣州奧松電子股份有限公司 等
發布日期： 2023-08-06
實施日期： 2023-12-01
點 擊 數：
更新日期： 2023年09月24日
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內容摘要

本文件描述了硅基MEMS制造技術中所涉及的納尺度膜結構沿厚度方向沖擊試驗的要求和試驗方法。
本文件適用于采用微電子工藝制造的納尺度結構在一次沖擊負荷作用下的耐沖擊性能的測試。

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