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半導體器件 機械和氣候試驗方法 第27部分：靜電放電（ESD）敏感度測試 機器模型（MM）

標 準 號： GB/T 4937.27-2023
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 佛山市川東磁電股份有限公司、廣東省中紹宣標準化技術研究院有限公司
發布日期： 2023-05-23
實施日期： 2023-12-01
點 擊 數：
更新日期： 2023年11月01日
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內容摘要

本文件依據半導體器件對規定的機器模型(MM)靜電放電(ESD)所造成損傷或退化的敏感度，建立了半導體器件ESD測試和分級的標準程序。
本文件相對于人體模型ESD，用作一種可選的測試方法，目的是提供可靠、可重復的ESD測試結果，以此進行準確分級。
本文件適用于半導體器件，屬于破壞性試驗。半導體器件的ESD測試從本文件、人體模型(HBM見GB/T 4937.26)或GB/T 4937系列中的其他測試方法中選擇。MM與HBM測試的結果相似但不完全相同。除另有規定外，HBM測試方法為所選方法。

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