本文件規定了電子探針顯微分析儀（電子探針)定量分析的儀器設備、標準樣品、試樣制備、測量前的準備、測量條件的選擇、測量過程、電子束入射電流的測量、各元素質量分數的計算、測量不確定度的評定和結果報告。
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