本文件描述了采用夏克-哈特曼法測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)波前像差的原理及方法、測(cè)量條件、設(shè)備及裝置、測(cè)量步驟以及測(cè)量數(shù)據(jù)處理。 ?
本文件適用于采用夏克-哈特曼法測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)波前像差的測(cè)量，也適用于光學(xué)零件面形偏差的測(cè)量。
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