本標準規(guī)定了金屬氧化物半導體氣敏件性能參數測試方法的基本原理,沒有規(guī)定這些方法在實際使用時的技術細節(jié),測試時可按相應的詳細規(guī)范的規(guī)定進行。本標準適用于金屬氧化物半導體氣敏件性能參數的測試,其他氣敏件亦可參照使用。
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