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光學元件表面疵病定量檢測方法 顯微散射暗場成像法

標 準 號： GB/T 41805-2022
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 江蘇皇冠新材料科技有限公司、福建福特科光電股份有限公司
發布日期： 2022-10-12
實施日期： 2023-05-01
點 擊 數：
更新日期： 2023年01月25日
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內容摘要

本文件描述了采用顯微散射暗場成像法對光學元件表面疵病進行定量檢測的檢測原理、試驗條件、
儀器設備、樣品、檢測步驟和試驗數據處理和檢測報告。
本文件適用于平板類雙面拋光光學元件表面疵病的長度、寬度、擋光面積以及疵病位置檢測。

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