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金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 17722-1999
替代情況:
發(fā)布單位: 國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局
起草單位: 中國科學(xué)院北京科儀研制中心
發(fā)布日期: 1999-04-01
實(shí)施日期: 1999-01-02
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更新日期: 2025年09月13日
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內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了各類金制品的金覆蓋層厚度的掃描電鏡測量方法的技術(shù)要求,本標(biāo)準(zhǔn)也適用于電子探針儀測量金覆蓋層厚度,適用的厚度測量范圍為0.2~10um。其他金屬材料的覆蓋層厚度的測量也可參照執(zhí)行。

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