本標準規定了采用惰性氣體熔融及紅外技術測試硅材料中氧含量的方法。
本標準適用于不同導電類型、不同電阻率范圍的硅單晶、多晶硅中氧含量的測試，測試范圍為2.5×1015 cm-3（0.05 ppma）～2.5×1018 cm-3（50 ppma）。
注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子數計。