本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子特氣氣瓶更換操作的術(shù)語(yǔ)和定義、相關(guān)技術(shù)要求、操作流程等內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體、LED、微電子、光伏太陽(yáng)能等行業(yè)中進(jìn)行SiH4、Cl2、BCl3、SF6、CHF3、NH3等電子特氣氣瓶的更換操作。其它行業(yè)或其它特種氣體氣瓶的更換可參照本規(guī)范執(zhí)行。
精細(xì)化工企業(yè)設(shè)備設(shè)施停用處置安全規(guī)范徑流泥沙自動(dòng)監(jiān)測(cè)儀校準(zhǔn)規(guī)范礦用溫度、溫濕度報(bào)警器校準(zhǔn)規(guī)范揮發(fā)性有機(jī)化合物光離子化在線(xiàn)監(jiān)測(cè)儀…污染源揮發(fā)性有機(jī)物（總烴、非甲烷總…附溫比重瓶校準(zhǔn)規(guī)范全自動(dòng)水質(zhì)智能分析儀校準(zhǔn)規(guī)范燃?xì)獗頇z定裝置校準(zhǔn)規(guī)范
