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本文件規(guī)定了電子級磷化氫的技術(shù)要求、采樣、試驗方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及安全信息。本文件適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解并經(jīng)提純制備的電子級磷化氫。