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微機電系統（MEMS）技術 MEMS電容式麥克風性能試驗方法

標 準 號： GB/T 47719-2026
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 北京大學、北京智芯傳感科技有限公司、芯聯集成電路制造股份有限公司、中機生 產力促進中心有限公司
發布日期： 2026-05-25
實施日期： 2026-09-01
點 擊 數：
更新日期： 2026年06月24日
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內容摘要

本文件描述了MEMS電容式麥克風圓片級和器件級性能的試驗條件和試驗方法。

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