本標準適用于微系統用生產設備,規定了微系統生產設備中末端執行器和操縱系統之間的接口要求,以及手動和自動更換的末端執行器的基本偏差、公差和標識。其目的是隨著規格的增大在三個層面上規定末端執行器接口。
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