本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了制備氮化鎵薄膜外延片及其他用途的藍寶石單晶切割片、研磨片、拋光片(簡稱襯底片)厚度和厚度變化是否滿足標(biāo)準(zhǔn)限度要求的測試方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于藍寶石襯底片厚度及厚度變化的測試。