本文件描述了采用透射電子顯微鏡法對微納米異質(zhì)結(jié)構(gòu)樣品的形貌、成分及結(jié)構(gòu)進(jìn)行測量及分析的方法，包括原理、儀器設(shè)備、樣品制備及步驟。
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