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作廢
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電子工業用氣體 氨【作廢】

標 準 號： GB/T 14601-2009
發布單位： 國家質量監督檢驗檢疫總局、國家標準化管理委員會
起草單位： 大連光明化工研究院、中國西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有限責任公司、西南化工研究設計院
發布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-05-01
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更新日期： 2010年11月09日
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內容摘要

本標準規定了氨的技術要求,試驗方法,檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。
本標準適用于半導體工業,氮化硅、氮化鎵的化學氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。

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