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微機電系統（MEMS）技術 硅通孔三維結構可靠性評價要求

標 準 號： GB/T 47725-2026
替代情況：
發布單位： 國家市場監督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 中國電子科技集團公司第五十五研究所、中機生產力促進中心有限公司、工業和 信息化部電子第五研究所
發布日期： 2026-05-25
實施日期： 2026-12-01
點 擊 數：
更新日期： 2026年06月25日
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內容摘要

本文件規定了微機電系統(MEMS)中硅通孔三維結構可靠性評價的樣品、失效模式分類及可靠性評價項目,以及參數評價、內外部形貌評價、熱應力特性評價、電應力特性評價、機械特性評價、互連特性評價和三維結構評價的要求。


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